無塵室的分類

1. 亂流式：空氣由空調機箱經風管和潔凈室內的空氣過濾器進入潔凈室，并由潔凈室內的回風柱或高架地板回風。氣流是呈不規則的亂流或渦流狀態。此型式適合于潔凈室等級為：1000-100000級

2.層流式：空氣氣流運動成一均勻的直線形，空氣由覆蓋率的過濾器進入室內，并由高架地板或兩側回風柱回風，此型式適合于級別比較高的潔凈室

3.復合式：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。潔凈隧道以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式

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關鍵詞：凈化工程，無塵室，潔凈室